本文摘要：目前国内先进设备的等离子体设备用于的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源大致相同，但在自动化程度上，体积上以及应用领域方面还有一定的差距。

目前国内先进设备的等离子体设备用于的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源大致相同，但在自动化程度上，体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此，要跟上国际水平，还要积极开展以下一些工作。　　1、现在国内的射频电源使用的都是电子管或电子管、晶体管混合电路，体积较天，在一些要考虑到体积的地方，容许了它的应用于。因而必须使用新技术、新的元器件，使射频电源固态化，小型化。

　　2、阻抗匹配网络是准确用于好射频电源的最重要部件。在国外，电阻自动给定网络已产品化，除了部分喷发物、淀积设备一律用于外，其它等离子体设备，特别是在是RIE都已配有上自动的阻抗匹配网络，从而使设备更加渐趋完备。在国内这方面还是手动的，虽然在一般情况下可以符合工艺拒绝，但操作者时无法离人，略为不留意仍不会给定很差。

用自动代替手动给定也是当务之急的工作。　　3、进阔射频电源的应用领域，研制多性能、多品种的射频电源，如宽频带上电源、微波电源等。为电源的发展首创新的道路。

　　4、为了较慢地跟上国际水平，引入国外的先进设备技术，根据我国的实际情况，对电源展开改建、改版是发展电源的最慢途径。

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